摘(zhai) 要(yao)：金屬(shu)轉(zhuan)子(zi)(zi)流量(liang)計作為(wei)面(mian)積式流量(liang)計的(de)一種(zhong)，具有簡單、直觀、對介(jie)質條(tiao)件要(yao)求低(di)等(deng)特點，使其在(zai)高溫(wen)高壓、強腐蝕介(jie)質等(deng)惡劣流量(liang)測(ce)量(liang)環境下被廣泛使用，因此對流量(liang)計的(de)維護保(bao)養成為(wei)保(bao)證測(ce)量(liang)數據客觀準確的(de)重要(yao)手段。尤其是金屬(shu)轉(zhuan)子(zi)(zi)表面(mian)附(fu)著(zhu)物直接(jie)影響了測(ce)量(liang)精度，對金屬(shu)轉(zhuan)子(zi)(zi)的(de)清(qing)洗(xi)(xi)成為(wei)流量(liang)計維護保(bao)養的(de)重要(yao)環節。本文(wen)著(zhu)重討(tao)論等(deng)金屬(shu)流量(liang)計葉片清(qing)洗(xi)(xi)方法及等(deng)離子(zi)(zi)清(qing)洗(xi)(xi)技術清(qing)洗(xi)(xi)轉(zhuan)子(zi)(zi)葉片的(de)可(ke)操作性。

金屬轉子流量計的(de)使(shi)用(yong)(yong)(yong)(yong)較為廣泛，在易燃、易爆、高溫、高壓和強腐(fu)蝕介質環境中(zhong)都(dou)可使(shi)用(yong)(yong)(yong)(yong)。由于測(ce)量(liang)檢(jian)測(ce)環境惡劣，為保證(zheng)測(ce)量(liang)精(jing)度，流量(liang)計在投用(yong)(yong)(yong)(yong)前準備、使(shi)用(yong)(yong)(yong)(yong)中(zhong)的(de)維護和停用(yong)(yong)(yong)(yong)后(hou)需進(jin)行清(qing)洗保養(yang)。對(dui)轉子(zi)這種微小精(jing)密(mi)部(bu)件的(de)清(qing)洗通常(chang)使(shi)用(yong)(yong)(yong)(yong)化學(xue)試(shi)劑清(qing)洗法(fa)及(ji)電(dian)(dian)磁(ci)感應法(fa)。試(shi)劑清(qing)洗易產生化學(xue)反應效應，電(dian)(dian)磁(ci)感應法(fa)則產生電(dian)(dian)化學(xue)現(xian)象(xiang)、極化電(dian)(dian)勢和觸媒作用(yong)(yong)(yong)(yong)，都(dou)會影(ying)響(xiang)流量(liang)計的(de)測(ce)量(liang)精(jing)度甚至產生二次(ci)污(wu)染破壞流量(liang)計。

等離(li)(li)子(zi)清洗(xi)是一種全(quan)新的(de)高科技技術，利用(yong)等離(li)(li)子(zi)體(ti)轟擊被清洗(xi)物表面來(lai)達(da)到常規清洗(xi)方(fang)法無法達(da)到的(de)效果。等離(li)(li)子(zi)清洗(xi)在橡膠塑料(liao)、汽車(che)、電(dian)子(zi)、醫(yi)療、紡織纖維乃至(zhi)航(hang)空航(hang)天領域已得到廣(guang)泛使(shi)用(yong)。本文將(jiang)結合等離(li)(li)子(zi)清洗(xi)的(de)優勢(shi)特點，討論等離(li)(li)子(zi)清洗(xi)轉子(zi)葉片(pian)的(de)可(ke)行性及技術優勢(shi)，為維護金屬轉子(zi)流(liu)量計(ji)提(ti)供安全(quan)實用(yong)的(de)方(fang)式方(fang)法。

1 流量計量技術及流量計
        能(neng)(neng)量(liang)(liang)轉(zhuan)換是一(yi)切(qie)生產(chan)過程(cheng)和(he)科學實驗的(de)(de)基礎，流量(liang)(liang)和(he)壓力(li)、溫(wen)度并列稱為三(san)大檢測參(can)數(shu)。對于(yu)已知流體，只要(yao)掌握這三(san)個參(can)數(shu)就(jiu)可通過計算得出其具有的(de)(de)能(neng)(neng)量(liang)(liang)，所以在能(neng)(neng)量(liang)(liang)轉(zhuan)換的(de)(de)測量(liang)(liang)中必須準確測量(liang)(liang)這三(san)個參(can)數(shu)。因(yin)此流量(liang)(liang)計和(he)壓力(li)、溫(wen)度儀表一(yi)樣(yang)成(cheng)為非常重要(yao)的(de)(de)應用。

1.1 流量計現狀、分類與常用術語
        測量流體流量的儀器為流量計，可測量流量的體積和質量。進入新世紀，由于工業發展對能量計算的需求急劇增長，促使流量儀表在測量原理逐漸成熟背景下發展出多種類型穩定可靠的產品。
        傳統流量計有差壓式流量計、容積式流量計、浮子流量計、葉輪式流量計以及插入式流量計。新型流量計有超聲波流量計、流體振動流量計、科里奧利質量流量計、熱式流量計、電磁流量計等。雖然現有流量計種類眾多并各具特點，但是研發一種適應所有測量需求的流量計依然是業界追求的目標。
流量計常用術語有流量范圍、儀表系數、流量系數、壓
力損失、線(xian)性度(du)、誤差(cha)與精度(du)、重(zhong)復(fu)精度(du)。

1.2 轉子流量計結構
轉子流量計主要由表頭與主體兩部分組成，主體結構如圖1 所示。

1.3 轉子流量計工作原理及誤差特性
轉子(zi)流(liu)量計(ji)一部分是由下(xia)(xia)至上(shang)逐(zhu)漸(jian)擴大的(de)(de)錐(zhui)管(guan)(guan)，另一部分是錐(zhui)管(guan)(guan)中可以(yi)上(shang)下(xia)(xia)自由移(yi)動的(de)(de)轉子(zi)。工作中被測(ce)(ce)流(liu)體(ti)經(jing)(jing)錐(zhui)管(guan)(guan)下(xia)(xia)端流(liu)入沖擊轉子(zi)所(suo)產生的(de)(de)作用力將轉子(zi)托起升高。同時(shi)，被測(ce)(ce)流(liu)體(ti)流(liu)經(jing)(jing)錐(zhui)形管(guan)(guan)壁間的(de)(de)環形斷面(mian)，從(cong)上(shang)端流(liu)出。轉子(zi)受力處于平衡(heng)狀態(tai)停留在某一高度(du)位(wei)置與所(suo)通(tong)(tong)過的(de)(de)流(liu)量有(you)相對應的(de)(de)關系。所(suo)以(yi)，通(tong)(tong)過觀(guan)測(ce)(ce)轉子(zi)在錐(zhui)形管(guan)(guan)中的(de)(de)位(wei)置來求得當時(shi)的(de)(de)流(liu)量值(zhi)。

流量計基本誤差表示為：

由于實測時V 是未知的，所以常用相對誤差來表示：

V=Nv 式(shi)中I 流量計示(shi)值；V 實際通過流量計值；N 計量元件旋轉次(ci)數；v 每轉一周排除流體體積(ji)。

2 流量計維護
流量計的(de)(de)維護(hu)中對儀器設備元(yuan)件的(de)(de)清洗是(shi)保(bao)證(zheng)其(qi)正常工作的(de)(de)重要手(shou)段。安全的(de)(de)維護(hu)保(bao)養(yang)工作可(ke)保(bao)證(zheng)儀器的(de)(de)測量精度，延長使用壽命，減少(shao)對工作、自然環(huan)境污染。

2.1 等離子清洗技術
        等(deng)(deng)(deng)離子(zi)(zi)(zi)(zi)(zi)清(qing)洗(xi)(xi)plasma cleaner 也叫等(deng)(deng)(deng)離子(zi)(zi)(zi)(zi)(zi)表面處理。等(deng)(deng)(deng)離子(zi)(zi)(zi)(zi)(zi)體(ti)是物(wu)質的(de)(de)(de)(de)第四態，不同于物(wu)質的(de)(de)(de)(de)固液汽三(san)態，等(deng)(deng)(deng)離子(zi)(zi)(zi)(zi)(zi)體(ti)包括離子(zi)(zi)(zi)(zi)(zi)、電(dian)子(zi)(zi)(zi)(zi)(zi)、原子(zi)(zi)(zi)(zi)(zi)、活(huo)性基團、激發態的(de)(de)(de)(de)核素( 亞穩態)、光子(zi)(zi)(zi)(zi)(zi)等(deng)(deng)(deng)。等(deng)(deng)(deng)離子(zi)(zi)(zi)(zi)(zi)清(qing)洗(xi)(xi)即是利用(yong)這(zhe)些活(huo)性組(zu)分來處理清(qing)洗(xi)(xi)物(wu)表面，實(shi)現清(qing)潔、涂覆、改(gai)性、光刻膠灰化(hua)的(de)(de)(de)(de)目的(de)(de)(de)(de)。其工作原理是在真(zhen)空(kong)(kong)腔(qiang)(qiang)室中，射頻(pin)電(dian)源在壓力(li)下起輝產生(sheng)無序的(de)(de)(de)(de)高能量等(deng)(deng)(deng)離子(zi)(zi)(zi)(zi)(zi)體(ti)轟擊被清(qing)洗(xi)(xi)物(wu)體(ti)表面。清(qing)洗(xi)(xi)結構由(you)控(kong)制單元、真(zhen)空(kong)(kong)腔(qiang)(qiang)及真(zhen)空(kong)(kong)泵組(zu)成。其中控(kong)制電(dian)源頻(pin)率有40KHz、13.56MHz、2.45GHz 三(san)種(zhong)，系統控(kong)制有半自動控(kong)制、電(dian)腦控(kong)制、PLC 控(kong)制。真(zhen)空(kong)(kong)腔(qiang)(qiang)由(you)不銹鋼及石英(ying)腔(qiang)(qiang)兩種(zhong)材質，真(zhen)空(kong)(kong)泵也分干(gan)泵和油泵兩種(zhong)。

2.2 等離子清洗技術優勢
⑴經等離子清洗后被清洗物是干燥的，無需像其它清洗方法再進行干燥處理，提高效率。
⑵使操作者遠離有害試劑的危害，降低對環境的污染。
⑶避免濕法清洗的直接接觸使微小精密部件破損變形。
⑷等離子體的無序性使它可以深入清洗微細孔眼及凹陷部位，對清洗物形狀沒有要求且清洗效果優于試劑清洗。
⑸工藝流程短，只有幾分鐘，極大提高效率。
⑹工作真空條件約100Pa，容易達到要求，設備成本低性價比高于有機溶劑洗發。
⑺適用材料廣泛，金屬、半導體、氧化物、聚氯乙烯、聚四氟乙烯、聚酰亞胺、聚酯、環氧樹脂等高聚物都可以適用等離子體處理。
⑻可改善材料表面性能，提高潤濕性和膜粘著力等。

2.3 等離子清洗技術應用
        清洗設備產生的等離子體在真空環境下的活性能量幾乎破壞所有的化學鍵，在所有暴露表面引起化學反應。清洗過程中，無機氣體被激發為等離子態，氣相物質吸附在固體表面，被吸附基團與固體表面分子解析形成氣相，反應殘余物脫離表面。
        實(shi)驗中，金(jin)屬轉子葉片上的(de)水、泥附著物徹底得(de)到清除，去除表(biao)面(mian)(mian)難揮(hui)發油(you)污，提高了表(biao)面(mian)(mian)活性。通過測量(liang)，轉子的(de)重(zhong)量(liang)、顯(xian)微形狀、表(biao)面(mian)(mian)平整度(du)都沒有明顯(xian)變(bian)化。使(shi)用效果全方位(wei)優于(yu)試劑清洗(xi)法。

3 結語
        等離子清(qing)(qing)(qing)洗技(ji)術在橡膠行(xing)業(ye)應(ying)(ying)用也非(fei)常(chang)成熟，實驗中借鑒其它(ta)行(xing)業(ye)領域(yu)的(de)應(ying)(ying)用經驗，解決了清(qing)(qing)(qing)洗金屬轉子體積小(xiao)、形狀特(te)殊、易腐(fu)蝕變形等難題。使(shi)清(qing)(qing)(qing)洗轉子葉片達(da)到高效、簡單(dan)、安全(quan)的(de)目的(de)。使(shi)離子清(qing)(qing)(qing)洗技(ji)術的(de)應(ying)(ying)用更(geng)加普及并拓寬(kuan)了范圍。

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